Основни принцип високо{0}}прецизних сензора лежи у претварању мерене количине у прецизан, стабилан и поуздан електрични сигнал кроз прецизан дизајн, напредне производне процесе, сложене алгоритме за обраду сигнала и ригорозне технике компензације грешака. Кључни аспекти постизања високе прецизности обухватају: оптимизацију основних принципа сензора, материјале високих{2}}материјала и прецизне структуре, напредне производне процесе (као што је МЕМС), ниску{3}}буку, високо{4}}прецизна електронска кола, температурну компензацију, нелинеарност и линеаризацију, калибрацију дигиталног сигнала и обрада сигнала и стандардизацију. Основна идеја је да се дубоко разумеју и квантификују сви могући извори грешака и активно елиминишу или компензују ове грешке кроз заједнички дизајн хардвера и софтвера.
У области прецизне производње и инспекције, високо{0}}прецизни сензори се користе за високо-прецизна мерења померања, димензија и топографије површине, као што је контактни сензор типа ГТ2-П12КЛ оловке- за детекцију микронског нивоа.
У области контроле и надгледања процеса, високо{0}}прецизни сензори се користе у тешким индустријским окружењима као што су хемијска и енергетска индустрија за високо поуздано праћење кључних параметара процеса као што су притисак, температура и брзина протока, као што су ОМЕГА ПКС409 серије високо{2}}прецизних сензора притиска.
